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プレス種（だね）

大日本印刷MEMSの生産能力を増強
8インチウエハーに対応した専用生産ラインを導入

大日本印刷株式会社（本社：東京 社長：北島義俊 資本金：1,144億円 以下：DNP）は、MEMS（Micro ElectroMechanical System）の需要拡大に対応するため、8インチウエハーに対応した専用生産ラインを新たに導入し、2006年4月より稼働を開始します。新ラインは、MEMSの試作・量産を行う設備で、投資額は、初年度で約40億円となります。新ライン導入により、DNPのMEMS生産能力は、現在の約10倍になります。今後も受注品目に応じて、製造装置を導入していく予定です。

【背景】
DNPは、2001年8月にMEMSファウンドリ事業を開始し、設計・試作から量産までを受託するサービスを行っていきます。MEMSは、圧力センサー、加速度センサー、角速度センサーなどのセンサー類に加え、半導体製造装置向け部材、バイオ関連など、用途が拡大するとともに、一部の製品が量産段階に移行し始めており、顧客企業から生産能力増強の要望が多く寄せられていました。このような背景を踏まえ、より量産化に対応した生産ラインを導入することとしました。

【新生産ラインについて】
今回導入する生産ラインは、8インチ対応の半導体製造装置をベースにしたMEMS専用ラインです。従来、多くのMEMS生産設備は、IC、LSI製造で使われなくなった4インチ、6インチサイズの半導体製造装置を転用していますが、新ラインは、こうした生産設備に比べ、高い生産能力を有し、より量産への要望に対応することができます（8インチ対応ラインは、単純計算で4インチの4倍以上、6インチの約2倍の生産性を有しています）。DNPは既に8インチウエハーに対応したMEMS専用ラインを保有していますが、新ラインでは、従来、人手を介していた工程を自動化するなど、より量産に対応したラインとなっています。またMEMS専用の設備であるため、半導体用途の転用設備では困難なウエハーの両面加工が可能であるとともに、加工精度、ごみ対策、自動化による生産性、などを向上することができます。

【DNPのMEMSファウンドリ事業について】
DNPは、リードフレームとシャドウマスク製造で培った当社独自のパターニング技術、エッチング技術、めっき加工技術に加え、半導体用高精度フォトマスク製造で培った超微細加工技術を活用して、MEMSの設計から試作・量産までを一貫して提供するサービスを展開しています。現在、国内で8インチ対応のMEMS製造装置を専用で保有しているのはDNPのみです。また、DNPは自社製品を持たないため、ファウンドリとしての中立性を保っていることも大きな強みとなっています。

【売上目標】
今回のライン拡充により、2009年に40〜50億円程度の売上を見込んでいます。